氣浮定位平臺(tái)是一種用于機(jī)械工程領(lǐng)域的分析儀器，PBA超精密氣浮平臺(tái)的主要構(gòu)成部分，包括底座、導(dǎo)軌、氣浮滑塊和頂板等，采用PBA直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

超精密氣浮平臺(tái)按導(dǎo)軌形式可分為機(jī)械式、磁懸浮式和氣浮式等，它是一個(gè)機(jī)電一體化系統(tǒng)，是集靜壓氣體導(dǎo)軌技術(shù)、直線驅(qū)動(dòng)技術(shù)、數(shù)控技術(shù)、動(dòng)靜態(tài)特性分析與優(yōu)化、自動(dòng)控制原理、測(cè)試與實(shí)驗(yàn)分析等多種技術(shù)于一體的綜合技術(shù)，其中，控制系統(tǒng)是定位平臺(tái)能否實(shí)現(xiàn)高速精度定位的關(guān)鍵。機(jī)械式導(dǎo)軌由于摩擦、死區(qū)等特性難以達(dá)到超精密的定位要求，而磁懸浮式和氣浮式導(dǎo)軌因?yàn)闆]有摩擦，故能實(shí)現(xiàn)超精密定位。磁懸浮式導(dǎo)軌需要高性能的控制系統(tǒng)，制造成本較高，氣浮式導(dǎo)軌則具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、質(zhì)量輕便和設(shè)計(jì)靈活等優(yōu)點(diǎn)。超精密氣浮定位平臺(tái)在工作中會(huì)受到驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的沖擊力、負(fù)載的慣性力、氣體的脈動(dòng)力等復(fù)雜載荷的作用，還會(huì)受到環(huán)境振動(dòng)的干擾，對(duì)于需要微米、亞微米甚至納米級(jí)定位精度的定位平臺(tái)，如果其結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)特性設(shè)計(jì)不好，在工作中發(fā)生共振，將嚴(yán)重影響其定位精度。

超精密氣浮定位平臺(tái)大多以花崗巖作為氣浮臺(tái)主要材料，花崗巖力學(xué)穩(wěn)定性好，經(jīng)過億萬(wàn)年的天然力學(xué)平衡，其內(nèi)應(yīng)力基本上消失,內(nèi)部結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，能夠長(zhǎng)期保持較好的穩(wěn)定性。花崗巖自身形狀受溫度影響非常小，熱膨脹系數(shù)非常小，導(dǎo)熱率也較低，因此對(duì)于周圍環(huán)境的要求較低，同時(shí)花崗巖易于加工，吸震性好。相對(duì)于金屬制品，不用考慮生銹，腐蝕等其他因素的影響?？梢缘玫奖容^穩(wěn)定的氣浮機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)壓縮空氣從節(jié)流孔噴出時(shí)將超精密加工實(shí)驗(yàn)臺(tái)均勻浮起的懸浮系統(tǒng)。